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| 陶瓷基板翘曲检测设备 | CMW100 |
| 产品描述 | 1、该设备为全自动陶瓷基板翘曲度精密测量系统，专用于陶瓷基板表面三维形貌的高精度扫描与翘曲量化评估。 2、设备使用高精度运动平台与专业分析软件，可快速获取基板全表面高度数据，自动计算翘曲度、平面度及厚度等关键形貌参数，为工艺优化与质量判定提供可靠数据支撑。 |
| 应用 | 1、陶瓷基板为泛半导体应用，其下游领域涉及光纤通信、电子电器、新能源汽车、机械工程、航空航天、军事设备等方面的广泛应用。 2、其量测覆盖适配氧化铝（Al2O3）、氮化铝(AlN)、氮化硅（Si3N4）等陶瓷基板，对该行业上游质量管控自动化和数据化管理具有重要意义。 |
| 检测方式 | 非接触式多工位自动检测 |
| 适用产品 | 60*70,60*90 等多种尺寸 （可根据产品尺寸定制开发） |
| 相机规格 | 3D相机 |
| 检测效率 | ≥ 100pcs/min (依据产品尺寸会有浮动） |
| 检测精度 | ±3μm |
| 重复精度 | ≥8μm（工位间） |
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