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| 晶圆平整度检测设备（平面支撑） | WIS100 |
| 产品描述 | |
| 应用 | |
| 检测方式 | 非接触式光学传感器 |
| 适用产品 | 化合物半导体晶圆(SiC、InP、GaAs、GaSb等) |
| 固定方式 | 平面支撑，真空吸附 |
| 晶圆规格 | 2~8寸，可扩展至12寸 (12寸需定制开发) |
| 重复精度 | 0.1μm 3sigma (TTV,LTV) |
| 检测精度 | 0.1μm |
| 输出形式 | 直观的数据+2D或3D图形方式呈现 |
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