晶圆终检AOI系列缺陷检测设备

晶圆终检AOI系列缺陷检测设备	WIF100
产品描述	1、该设备为全自动宏观外观检测系统，专用于无图形晶圆表面各类宏观缺陷的高效识别与分类 2、系统支持自动上下料、自动检测与缺陷分类，有效替代人工目检，大幅提升出货品质管控效率
应用	1、无图形晶圆生产线的外观终检工序，来料质量检验与出货前品质筛查 2、无图形晶圆划片/研磨/抛光后的表面质量评估 3、半导体材料研发过程中的宏观缺陷统计分析
检测方式	多角度相机阵列布设+高强度照明进行区域式成像
适用产品	锗（Ge）、砷化镓（GaAs）、磷化铟（InP）单晶衬底
兼容规格	兼容2~6英寸晶圆规格
检测精度	≥10um